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NanoFocus μScan(激光扫描轮廓仪)μScan采用模块化设计,特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。 AF2 自动对焦(Autofocus) 借由探测器的回馈讯号调整物镜位置,得到待测物焦点,而获得待测物的确实高度(如下左图)。 CF4 共轭焦(Confocal, Laser) 激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,此时
光学轮廓仪,NanoFocus μScan
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