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一、仪器描述
ATM-240/L 用于产生高浓度PSL小球气溶胶,依据VDI 3491(part 2)进行设计研发。
在半导体和航空航天行业中的高效过滤器的测试中,不能采用常见的油性气溶胶物质(DEHS、PAO等),即使很小的量也会存在滤材中或者排出从而导致对产品造成损伤,根据DIN EN 1822-4中滤材的测试用固体颗粒,经过对比,PSL是最好的用于测试PTFE高效滤膜的最好材料。
—较高的产生速率,最大1.5*1011/min。
—单分散气溶胶粒径分布
—满足检漏测试(U16级,滤纸样610mm*610mm,质量流量600m3/h)
—较少的水分摄入,无需干燥
—易于操作、清洁、保养
二、仪器应用
l 产生示踪粒子
l 测试HEPA和ULPA过滤器效率
l 测试大型洁净间VDI2083、DIN EN ISO14644
l 产生PSL小球
三、仪器规格参数
型号
ATM 240/L
气溶胶粒径
取决于悬浮粒子尺寸
压缩空气
6 bar 253/h
气溶胶发生速率
最大1.5*1011/min
质量流量(DEHS)
max.20-240 g/h
需要最少的悬浮
大约50ml
尺寸
900mmx 400mmx 300mm
重量
25 kg
气溶胶类型
PSL
TOPAS 高浓度PSL气溶胶发生器 ATM-240/L, ATM-240/L
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