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产品介绍 株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本 家发表光学干杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。 KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 200 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色 CCD原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。 技术参数 一、测定工件: 1. 最大工件尺寸:φ160mm 2. 最大工件厚度:50mm 3. 最大工件重量:2kg 二、检出器(pick up): 1. Z方向测定范围:Max. 600μm 2. Z方向分解能:0.1nm 3. 测定力:10μN to 500μN 4. 触针半径:2 μm 5. 驱动方式:直动式 6. 再现性:1σ= 1nm 三、X 轴 (基准轴): 1. 移动量(最大测长):100mm 2. 移动的真直度:0.2μm/100mm 3. 移动,测定速度:0.02 ~ 10mm/s 4. 线性尺(linar scale):分解能 0.1μm 四、Z轴: 1. 移动量:50mm 2. 移动速度:max.2mm/S 3. 检出器自动停止机能 4. 位置决定分解能:0.2μm 五、工件台: 1. 工件台尺寸:φ160mm 2. 机械手动倾斜: ± 1mm/150mm 六、工件观察:max.110 倍(可选购其它高倍率CCD) 七、床台:材质为花岗岩石 八、防振台(选购):落地型或桌上型 九、电源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA 十、本体外观尺寸及重量:W494×D458×H610mm, 120kg(不含防震台)
KOSAKA LAB ET 200台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机), ET200
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粗糙度轮廓仪-KOSAKA SE300便携表面粗度测定机
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