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产品介绍 株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本 家发表光学干杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。 ET5000可以自动高精度测量尺寸880mm×230mm的大型样品。加载/卸载样品平台是可选的。其具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD,晶片,硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。
主要特点: (1) 的台阶再现性与线性度。 (2)超高真直度,可确保量测图形不受任何影响,并可在真直度的保证下进行长距离测量。 (3)采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节。 (4)配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。 (5)可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种。 (6)适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。 技术参数 最大样品尺寸:880 × 680 mm 再现性:1 σ 1 nm 测量范围:Z: 100 μm X: 100 mm 分辨率:Z: 0.1 nm X: 0.1 μm 测应力:0.5 μN to 500 μN
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