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MAIA3是新开发的分析用扫描电子显微镜,它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次电子信号,在1kV下分辨率为1.4nm。此型号电镜配备肖特基场发射电子枪,以及TESCAN先进的三透镜电子光学系统。相比于常规物镜,它采用了TESCAN独特构造的60度磁浸没物镜,它能显著地减小光学像差,在低电压下依然有着超高的分辨率。另外,添加的中磁透镜可以和物镜同时使用或者代替物镜观察,以提供多种显示模式。
产品特点:具有非凡分辨率的单极60度角物镜;无场模式用于磁性样品的观察;高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像;镜筒中的In-Beam二次电子探测器用于小工作距离条件下二次电子的检测;独有的三透镜大视野观察设计,提供了多种工作模式和显示模式,体现了TESCAN专有中间透镜(IML)的功能;实时电子束追踪技术,可模拟和进行束斑优化,包括直接和连续控制电子束束斑和束流大小;电子束减速模式在低电压下获取优秀的分辨率(选配);In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像;成像速度快;高通量大面积自动化,例如自动颗粒分布和分析;计算机优化、马达驱动的样品台;利于EDX、EBSD分析的理想几何设计;由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室;电子枪的真空度由离子泵来维持;包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置;完善的软件用于SEM控制,图像采集、存档、处理和分析;多用户多语言操作界面;网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置;独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像。
高分辨场发射扫描电镜, MAIA3 XMU/XMH
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