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CILAS的可变形反射镜,利用压电材料所有共享相同的属性(PZT)来工作的。他可以精确控制很小的变形量(亚纳米级)和高响应速度(几百微秒)。
CILAS可以提供两种变形镜可供选择:
●堆栈阵列镜(SAM):利用正压电效应,每个驱动单元都由一些压电磁盘组成,变形镜的行程是就是由所有压电磁盘的行程之和。
●双晶变形镜(BIM):所谓单晶(MONO),是利用横向光电响应,在两块机械连接处产生差局部曲率。
变形镜在高功率激光方面的应用:
变形镜最早是在法国马库锡实验室发明的,后来在几个国防项目中,变形镜主要用在高功率激光光束聚集中。
CILAS压电式变形镜, MONO31-100 LUL
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