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CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
双等离子清洗源
远程清洗、检漏两用
快速高效
即插即用
技术参数
产品型号
CIF-TEM
真空泵
Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵
最大入口压力1.0个大气压(0psig),最大出口压力1.4个大气压(6.5psig)
最高抽速60L/min,极限真空3.3 x 10-1 mbar
KF16入口接口
等离子电源
两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器
13.56MHz等离子RF电源,5-100W可调
清洗室
清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm
最多可放置3路TEM hoder,可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆
气体控制
美国MKS数字真空计
两路清洗气体控制,可以外接如Ar或O2等清洗气体
控制方式
7寸全彩触摸屏操控方式,人机互动界面
冷却方式
风冷
电源
电源220V、50/60Hz
质量保证
二年免费,终身维护
CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机,CIF-TEM
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