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108auto喷金仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。主要特性通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。可用MTM
108auto喷金仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)精确测定所镀膜的厚度。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统
样品室大小
直径120mm x 120mm 高
靶材
Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);
规格:直径57mm x 0.1mm厚
样品台
可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm
溅射控制
微处理器控制,安全互锁
溅射电流
微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头
低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
计量表
真空: Atm - 0.001mbar,电流:0~50mA
厚度监控 (选件)
使用高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度
控制方法
具有气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5-300s)
真空系统
真空泵
2级直连式高速真空泵
抽气速率
100L/MIN
极限真空
≤1 x 10-3 Torr
噪音
50dB
喷金仪价格
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