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这款PELCO®凹坑仪是南湾科技D500i凹坑仪的改进版,是一种精密的机电金相研磨仪器。它可不断的监视和控制凹陷参数,并且在达到预先设置的样品厚度时准确地终止研磨。这种机电一体化技术的实现了造坑过程的自动化,使得造坑减薄的过程变得可重复而可靠。
PELCO凹坑仪的精确度为±1μm,造坑面积大,机械损伤小。可对多种不同的材料进行造坑减薄,如硅、镓砷化合物、锗、蓝宝石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半导体、铝合金、陶瓷、碳和碳复合物。
Z偏移量
精确度:
1 micron
范围:
2000 microns
Z终止精确度
工具1i / 3i:
<±1 micron
工具2i / 4i:
<±2 microns
工具压力
1 - 200 grams
1 grams 步进
平衡
灵敏度:
1 grams
50 grams
工具速度
100 - 600 RPM
样品压盘转速
10 RPM
工具传动轴
0.5微米TIR
<±1 micron TIR
<±2 microns TIR
压盘表面
<0.5 micron TIR
外形尺寸
长度:
68.6cm
宽度:
35.6cm
高度:
33cm
重量:
32kg
电源
通用交流电:85~264 VAC,47~63 Hz
产品编号
描述
84000
PELCO ® TEM精密凹坑仪
83050
PELCO ®视频对齐工具
83031
用于TEM的3mm样品的标准工具组
83032
可调节压板组
83001
蓝宝石样品座
PELCO Dimpler凹坑仪,Dimpler
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