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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
两个炉体在一个滑动轨道上,炉体最高工作温度1200℃
每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动
仪器中配有不锈钢密封法兰
总功率
2.5KW
电压
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)
最高工作温度
1200℃
连续工作温度
1100℃
加热&冷却速率
加热区长度
每个炉体的加热区为200mm
恒温区
60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
加热元件
掺钼铁铬铝合金
炉管
高纯石英管
尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
温度控制系统
两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。
控温仪表操作视频
设置有超温和断热偶报警
包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)
可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温 (点击图片查看详细资料)
真空法兰
仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表
可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计
滑轨长度
1200mm
真空度
10E-2 torr(采用机械泵)
小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL, OTF-1200X-S2-50SL
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