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Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire)
常规尺寸:
dia100;单抛
技术参数:
Si晶向:<100>
Si掺杂类型:本征;不掺杂
Si厚度:0.6um +/- 0.06 um
Si电阻率:> 100 ohm.cm
Al2O3基片:R plane with single flat
Al2O3尺寸:dia100 x 0.53 mm
平面度(flatness):10um
平行性(Parallelism):20um
抛光情况:单抛Projected C-Axis: 45 degree +/- 2 degree
备注:可按照客户要求在C plane Al2O3上镀Si
Al2O3+Si薄膜(SOS), Al2O3+Si薄膜(SOS)
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