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产品名称:
Si/SiO2/Ta/Cu薄膜?(进口?Cu?Epi?Film?Coated?on?Ta/SiO2/Si?Wafer)
技术参数:
Cu<111>参数:100nm400nm(highly?oriented?poly-crystalline?Cu)
Ta厚度:20-50nm (Ta diffusion barrier)
Si/SiO2参数:<100> P型掺B;300nmSiO2;R:1-20ohm-cm;单抛Si/SiO2尺寸:dia 4inch x 0.525mm
表面粗糙度:As grown
产品尺寸:
dia4 inch or 10x10mm
标准包装:
1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒
Si/SiO2/Ta/Cu薄膜,Si/SiO2/Ta/Cu薄膜
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