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产品名称:
Si上镀SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料)
薄膜参数:
Si参数:P型,R;5-10ohm.cm
SiO2参数:300nm
Ti参数:10nm
Pt <111>参数:150nm
Pt薄膜最大热预算:< 700~750 degree C / 1 hr
(Maximum Thermal Budget of Pt film)
常规尺寸:
dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、单抛;
标准包装:
1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装
Si+SiO2+Ti+Pt <111> (dia2"进口薄膜),Si+SiO2+Ti+Pt <111> (dia2"进口薄膜)
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