您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪型号:Zeiss Sigma SEM
主要功能:·利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(最小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿领域。
技术指标:·肖特基热场发射电子源·加速电压:100V~30kV·放大倍率:12X~1000,000X·SEM分辨率:1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm(1kV)·电子束曝光:10nm(20kV)·场拼接精度:<100nm·扫描频率:6MHz·图形格式:GDSII
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪, Sigma SEM
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
群组论坛--样品前处理
您可能要找:卡尔.蔡司电子束刻蚀德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪价格 Sigma SEM 电子束刻蚀参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号