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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。该机设备小巧,占用实验室空间少,操作简单,应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
1、PLC控制面板,4.3″触摸屏,PID控温方式。2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。4、已通过CE认证。
3、石英罩:Ø160mm×120mm
4、样品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,最高温度可到500℃;最长溅射时间不可超过5min)
7、靶材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,
不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等
尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪,VTC-16-3HD
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