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技术指标: 手动/电动平台 可选标准行程: 4"×4"(102×102mm),6"×8"(153×204mm),6"×12"(153×305mm)三种,其他尺寸可定制 分辨率:1μm 测量精度:±(2+L200)μm 重复定位精度:2μm 被测物容许重量:分别为11Kg、13Kg、15Kg 光栅线位移传感器 分辨率:1μm 输出幅值:5V,相对角差90°的两路方波信号(TTL) 准确度(20℃):±(5+5L/1000)μm(L:传感器有效量程) zei大速度:50m/minute MS600-68 XYZ CNC全自动三维测量系统 光学以及成像系统 摄像头采用高分辨率SONY芯片 激光定位装置 高清晰度显微镜:平行光路平场设计,0.68~4.5X变焦,带倍数定位,总放大倍数10~135X(可根据需要提高到4.65~1080X) 照明:LED或选配光纤冷光源 Z轴:手动Z轴(不带测量功能) 调焦范围:290mm Z轴带量测范围:4"(101mm) 分辨率:1μm 测量精度:10μm 底座尺寸(长)×(宽)×(高):610×450×65mm 平面度:0.05mm 底座重量:15Kg
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