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技术规格:
1. 面电阻量测范围: 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)
2. 样品尺寸:支持10mm至300mm wafer
3. 量测系统包括:Jandel RM3000测试单元
4. 测试精度:0.05% at 23℃
5. 温度可变范围:-100℃ ~ 200℃
6. 软件操作简单可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系统,USB2.0 或USB3.0接口
7. 可选择量测晶圆上1, 5, 9, 25, 49, or 121个测试点或者自定义量测图
8. 可绘制2D和3D数据结果图
9. 输出电阻,电阻率和厚度等量测结果
10. 系统支持JANDEL探测头,插入式更换,操作简单
自动扫描四探针测试仪,A4P
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