您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产,该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制,通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储,并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的。
技术规格:
1. 支持最大晶圆尺寸:200mm
2. X-Y轴移动重复性:+/- 2 mm
3. X-Y轴移动分辨率:100 nm
4. Z轴移动重复性:+/-2mm,移动分辨率:100nm
5. 可配置4至6只探针臂,可选配RF探针臂,可选配探针卡
6. 显微镜分辨率:4mm
7. 可测试温度:77K~680K
8. MicroXact's XactTest™软件全自动控制压力及平台移动。
半自动/全自动真空探针台, SPS-2800
半自动/全自动真空探针台信息由上海载德半导体技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于半自动/全自动真空探针台报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
群组论坛--近红外(NIR)
您可能要找:迈锐探针台半自动/全自动真空探针台价格 SPS-2800探针台参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号