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晶片退火炉
设备用途:
蓝宝石衬底片等晶片的退火
产品特点:
★具有超温、断偶、可控硅故障等报警保护,并在超温时能自动关闭加热器
★自动限流,低温自启动
★异常断电时能测量并显示炉膛内温度,仪表正常显示
★配有急停按钮,在设备出现故障时紧急关闭停止设备工作
★炉门平行侧开,炉门打开是热面自动朝里,背向操作者,并具有关闭到位自动锁紧装置,防止炉膛热损失。炉门开度:超过炉膛50mm以上
★配有帽口烟罩,可排放灼烧废气,但不能影响炉膛温场均匀性
★意大利进口莫来石轻质砖炉口坚固耐用
★正常使用情况下,发热元件寿命不小于3300小时
★配有万向底脚,方便移动
技术参数:
型号
VKTH-18
炉膛尺寸(W*D*H)mm
300×400×300
电源 V (Hz)
380 (50)
额定功率KW
20
温度范围
室温-1800℃
最高使用温度
1700℃
恒温精度
≤±1℃
温场均匀度
≤±5℃
热电偶
B分度
加热元件
高温硅钼棒
升温速率:
平均不小于5℃/min
炉膛材质
陶瓷纤维
运转模式
程控运转(1-8模式)可编30段程序
时间设定
0~9999分钟
晶片退火炉VKTH-18维克特锐, VKTH-18
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