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产品简介:OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于PVD或CSS法制作薄膜;其炉管外径为11″,炉管内载样盘可放置3″的圆形或2″×2″的方形基片;加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体顶端和底部,升温速率高达20℃/s;温控系统采用PID30段程序化控制,控温精度为±1℃,并且仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。
产品型号
OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz(20A空气开关),必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)
4、工作台:设备为落地式,占地面积1m2以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(?76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5 torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以精确测量腔内真空度。
技术参数
1、电源:单相AC208V-240V(需20A的空气开关)
2、真空腔体:高纯石英管,外径280mm,内径275mm,高229mm
3、加热元件:两组IR红外灯管,额定功率800W,总功率1600W
4、热电偶:S型热电偶2个,分别安装于上下法兰上
5、工作温度:两个加热区域单独工作的最高温度≤650℃,两加热区域最大温差≤350℃
6、加热速率:>8℃/s
7、冷却速率:>10℃/s(600℃-100℃)
8、真空法兰:316不锈钢制作,配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头
9、真空计:数字式真空显示计
可选配件
1、PC控温软件
2、两路混气系统
3、多路浮子混气系统
4、多路质子混气系统
5、真空泵
6、水冷机
OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉, OTF-1200X-RTP-II(CSS)
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