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产品简介:300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易。配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪。
产品型号
300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD
技术参数
1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz
2、输入功率:5W-300W(可调),稳定性±1%
3、射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005%
4、匹配:自动匹配,空气电容
5、冷却:空气冷却
6、噪音:<50dB
产品规格
尺寸:480mm×400mm×140mm
可选配件
1、2"高真空磁控溅射头,可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。
2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射
头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"。
3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。
300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD, RF-300I-LD
300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
VTC-200真空旋转涂膜机
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