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产品简介:2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2可安装直径为2"的靶材,适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
产品型号
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2
主要特点
1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。
3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。
技术参数
1、阳极护罩直径:?3.5"
2、所用靶材:直径2"(50.8mm),非磁性靶最大厚度1/4",磁性靶最大厚度1/16"
3、磁铁:NdFeB稀土永磁体
4、靶材利用率:30%
5、所需功率:DC最大1000W,RF最大500W
6、溅射电流:最大3A
7、溅射电压:100V-1000V
8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr
9、溅射均匀性曲线:
10、水冷却:水管外径0.25",流速0.8GPM,进水温度<20℃
产品规格
可选配件
1、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。
2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射
头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"。
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2, HVMSS-SPC-2
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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