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产品简介:VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、制版工艺及表面涂覆工艺,是一款上盖可以加热的匀胶机,在匀胶过程中进行烤胶,使薄膜迅速固化。工作过程中胶体以雾状喷到样片上,使胶体在样片表面均匀分布,有利于形成均匀的薄膜。本机电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源进行控制,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,转数在100-2000RPM范围内可调。涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要进行设置。VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。对于样件的固定,采用橡胶吸盘和磁力钢片模板,不仅样件取放自如,而且操作简便。此外,在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。
产品型号
VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有进出水口
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地。
3、气:不需要
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件,不仅样件取放自如,而且操作简便;橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。
2、该机上盖具有红外加热功能,可以使温度保持在一个稳定值。
3、本机上盖具有4组喷嘴,可使胶体以雾状喷在样片表面,使薄膜更均匀。
2、电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源的方式,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,数值显示更直观可靠,转数在100-2000RPM内可调。
3、涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要,可分别进行时间1、转速1、时间2、转速2的设置。设置完成启动后,涂膜机先以转速1在时间1时间内运转,使涂膜物质逐渐分散开。当时间1时间结束时,涂膜机自动进入时间2时间阶段运转,使涂膜物质更加均匀。
3、喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。
4、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。
5、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。
技术参数
1、电源:AC220/110V、50/60Hz
2、电机功率:功率210W
3、双转速涂膜功能:双转速及涂膜时间分别设置,在启动后先低速运转(滴涂胶液),然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定(±1%),涂膜物质均匀。
转数1:100-2000 RPM有效
时间1:1--200s有效
转数2:100-2000 RPM有效
时间2:1--200s有效
4、适用于Φ153mm样件涂膜。
5、上盖加热温度范围:0-100℃。
6、环境温度5-40℃,相对湿度不大于85%RH,设备周围无强烈震源和腐蚀气体影响。
规格尺寸
主机外形尺寸500mm(长)×410mm(宽)×330mm(高),重量24Kg。
标准配件
1
磁性钢片模板(Ф160mm)
1件
2
吸盘(Ф153mm)
3
温控箱
1台
4
蠕动泵
6台
可选配件
橡胶吸盘
磁力钢片模板(可定制)
红外加热喷雾旋转涂膜机,VTC-200-4P
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VTC-200真空旋转涂膜机
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