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产品简介:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。
产品名称
EQ-TM106膜厚监测仪
产品型号
EQ-TM106
主要特点
1、本机可与计算机连接。
2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。
3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
技术参数
EQ-TM106-1监测组件
1、电源:DC 5V(±10%),最大电流400mA
2、频率分辨率:±0.03Hz
3、膜厚分辨率:0.0136?(铝)
4、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度
5、测量速度:100ms-1s/次,可设置
6、测量范围:500000?(铝)
7、标准传感器晶体:6MHz
8、计算机接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无)
9、模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)
10、工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2显示仪
1、输入电源:AC 220V±10%
2、输出电源:DC 5V 3A
3、显示器:12×2数码管与LED
4、通讯端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位,奇偶校验:无)
5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探头
1、适用晶片频率:6MHz
2、适用晶片尺寸:?14mm
3、安装法兰:CF35
4、冷却水管:?3mm,长度300mm、500mm、1000mm
5、冷却水压:<0.3MPa
6、气动挡板路管:?3mm
7、压缩空气压力:<0.8MPa,>0.5MPa
8、烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃
9、电气接口:BCN插座
标准配件
1
1个
2
1台
3
膜厚监测仪,EQ-TM106
膜厚监测仪信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于膜厚监测仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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