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产品名称
VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机
主要特点
1、可台面式操作,外形尺寸紧凑
2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可选
3、底盘旋转加热,XY电缸移动式喷胶
4、可处理最大基片尺寸为8寸晶圆,向下兼容
技术参数
1、热盘温控范围:室温—150℃,温度分辨率:0.1℃
2、温度均匀性:小于±1%(工作范围内)
3、胶体流速范围:1-20ml/min
4、电缸移动速度:1-200㎜/s
5、电缸定位精度:±0.02㎜
6、电缸有效行程:300×300㎜
7、超声波雾化粒径:小于50μm
产品规格
外形尺寸:928(W)×800(D)×510(H)㎜
VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机, VTC-100-SE
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VTC-200真空旋转涂膜机
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