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2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统,配备30KW感应加热器、8.5"(216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架,最高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体),是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的绝佳选择。
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC操作视频
产品型号
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、采用多块氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。
2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。
3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。
4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5
torr。
5、迷你型浮子流量计精度为4%。
6、配有双级旋片机械泵(2L/s),可使石英管内真空度达到10E-2torr。
技术参数
感应加热器
1、工作电压:三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关)
2、工作电流:7Amps-70Amps(需100A空气开关)
3、功率:最大振荡功率30KW,最大输入功率15KW
4、输出频率:30KHz-110KHz
5、占空比:80%
6、感应线圈:内径?220 mm,高65 mm
7、空气冷却:后风扇
温度控制器及热电偶
1、工作电压:AC208V-240V 单相
2、控温精度:±3℃
3、热电偶:C型,外径?1/4",长10"
4、连续工作温度范围:1000℃-2000℃
5、最大升温速率:4℃/s(1000℃-1200℃)、3℃/s(1200℃-1500℃)、1℃/s-2℃/s(1500℃-2000℃)
石墨坩埚(易耗件)
1、高纯石墨坩埚:外径?114mm,内径?100mm,高142mm
2、最大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2,最大质量为4kg(以铁标定)
3、保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从内至外分别为石墨毡(可耐温2200℃)-氧化铝(可耐温1700℃)-高
温毡,总厚度为32mm
石英管和密封法兰
1、石英管:两端开口,外径?216mm,内径?208mm,长500mm
2、顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,装有防腐型真空计、不锈钢截止阀,设有1个1/4"的铠装接口(可插入热电
偶至石英管内部,更准确地测量样品温度)
3、底部法兰:设有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
水冷机
1、温度:5℃-30℃
2、水流速:>16L/min
3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作
4、水压:≥0.1MPa
5、流量:≥5L/min
(建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果)
真空泵
工作电压:AC208V-240V单相
移动炉架
尺寸:700mm×1000mm×700mm,钢框架结构,方便移动感应加热器和带法兰的石英管
产品规格
注意事项
操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流
量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安
全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。
其他事项
本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC, SP-85KTC
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