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VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺。该机腔体采用聚丙烯材质,耐腐蚀且使用寿命长,可用于强酸、强碱溶液的涂覆。本机上盖具有紫外灯光照射的功能,尤其适用于对紫外光敏感的胶体,可使涂覆后的胶体迅速固化;此外紫外灯还具有聚合作用,可以把单体聚合成聚合物膜。上盖中心位置为注液孔,注液孔配有胶塞,当腔体需要密闭的环境时应将胶塞堵好。腔体带有进气孔,可在匀胶过程中对腔体通保护气。样件采用真空吸附方式进行固定,操作简单,使样件取放自如。配用专用定心工具可使样件很容易放在吸盘中心位置,以减少偏心带来的震动,避免造成飞片。根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘,吸盘更换简单方便。本机使用精密直流无刷电机,启动快、速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。1、采用真空吸盘固定样件,样件固定牢固且取放简单方便;真空吸盘大小可根据需要进行定制。2、该机上盖具有紫外灯光照射的功能,紫外光的强度可以在一定范围内进行调整。3、本机上盖中心位置为注液孔,注液孔配有注液孔塞,当腔体需要密闭环境时可使用该孔塞将孔密闭。4、该机带有保护气接孔,可对腔体通保护气。5、电机部分、紫外灯光控制部分分别使用独立的电源进行控制。电机调速系统采用单板机+液晶显示屏进行控制,数值显示更直观可靠;紫光灯采用抗干扰性强的PLC控制器进行控制。6、本机涂层速度为500-1000RPM,可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段,每段运行参数可独立设置,可使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。7、紫光灯真空旋转涂膜机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。8、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。9、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。
真空吸盘(φ19 mm和φ60 mm)
国产移液枪
进口移液枪
紫外光旋转涂膜机, VTC-100PA-UV
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VTC-200真空旋转涂膜机
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