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产品简介:椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件,自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。
产品型号
PMS 椭偏在线监测装备
主要特点
1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告
2、支持最大193-2500nm全波段分析测量
3、支持多椭偏方案,多组合集成
4、支持测头模块以及样件机台定制化
技术参数
测头规格
穆勒矩阵椭偏测头
光谱椭偏测头
反射膜厚测头
自动化程度
可变/固定角+ mapping
垂直角+ mapping
应用定位
高阶高精度型
高精度型
通用型
单次测量时间
0.5-5s
小于1s
分析光谱
380-1000m(支持扩展至193-2500nm)
380-1100nm
Mapping行程
支持行程定制化
支持样件尺寸
安需定制化
椭偏在线监测装备,PMS
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