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产品简介:SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块,通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED,LED,光伏,集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。
产品型号
SE-Mapping光谱椭偏仪
主要特点
1、全基片椭偏绘制化测量解决方案
2、支持产品设计以及功能模块定制化,一键绘制测量
3、配置Mapping模块,全基片自定义多点定位测量能力
4、丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力
5、采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)
6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集
7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力,提供全面膜厚检测分析报告
8、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料
技术参数
1、自动化程度:固定角+ mapping
2、应用定位:检測型
3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光谱
4、分析光谱:380-1000nm(可扩至193-2500nm)
5、单次测量时间:0.5-5s
6、重复性测量精度:0.01nm
7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200um
8、入射角调节方式:固定角
9、入射角范围:65°
10、找焦方式:手动找焦
11、Mapping1程:300x300mm
12、支持样件尺寸:最大至300mm
可选配件
3
真空泵
4
透射吸附组件
光谱椭偏仪,SE-Mapping
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