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精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,最大流量为80ml/min,精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸汽,然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是极佳的研究设备。
精密液体气相发生器操作视频
产品型号
精密液体气相发生器
主要特点
1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。
2、采用30段程序化控温。
3、气体流速通过浮子流量计控制。
4、配有压力表,可测出液气混合罐中的气体压强。
5、配有两个不锈钢针阀,以控制气体进出。
6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。
7、已通过CE认证。
技术参数
1、电源:单相AC208V-240V 50Hz/60Hz
2、功率:1000W
3、蠕动泵:精确度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可调)
4、最高工作温度:300℃
5、控温精度:±1℃
6、浮子流量计:0-2000ml/min(可调)
7、出气口:外径1/4″
产品规格
尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg
加热带(缠绕在外接的管道上,以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。)
精密液体气相发生器, 精密液体气相发生器
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