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产品简介:1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。
控温仪表操作视频
产品型号
1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-SR -III
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:需要选配冷水机
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)
4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高设备
的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。
2、滑轨式法兰结构,方便取放样品。
3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。
4、三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度。
5、采用三个PID控制器,通过可控硅来进行温度控制,可以设置30段升降温程序。
6、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设有4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射。
7、已通过CE认证。
技术参数
1、电源:单相220V 8KW
2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1300mm
3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝
4、加热区域:长900mm
5、温区:3个,各300mm长
6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度)
7、工作温度:≤1100℃,连续工作400℃-1000℃
8、升降温速率:≤10℃/min
9、控温精度:±1℃
10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)
11、热偶检测口:1个
12、真空接口:KF-25
13、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封
14、炉体:1000mm×700mm×1060mm
15、滑轨:600mm
产品规格
尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg
标准配件
1
石英管堵
1个
2
KF-25真空挡板阀
3
KF-40不锈钢波纹管
1根
可选配件
1、软件接口模块和PC机
2、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)
3、冷水机
1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉, GSL-1100X-8.5-SR -III
1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于1100℃三温区带滑轨8.5″管式炉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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