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产品简介:8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5″ 的真空管式炉,可以在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。
产品型号
8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)
4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。
2、采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封。
3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。
4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源:AC 220V 8KW
2、石英管:外径?216mm,内径?208mm,长1016mm
3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝
4、加热区域:600mm
5、恒温区域:200mm
6、工作温度:≤1100℃,连续工作400℃-1000℃
7、升降温速率:≤10℃/min
8、热电偶:双K型
9、控温精度:±1℃
10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)
11、铠装热偶检测口:1个
12、真空接口:KF40
产品规格
尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg
标准配件
1
石英管
1根
2
氧化铝管堵
2个
可选配件
1、软件接口模块和PC机
2、石英管
3、石英管堵
4、K型热电偶(?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)
5、真空泵
8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S, GSL-1100X-8.5-S
8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S信息由沈阳科晶自动化设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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