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应用领域:
生物芯片领域
医用材料、光学材料研究
电子半导体领域
高分子材料研究
电化学、高端零部件处理
有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能:
自动调频高频发生器
内置旋转真空泵
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀
低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
真空监测.
双重气流针阀控制
精确时间定时
微处理器程序设置
LCD状态数字显示
腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便
聚碳酸脂安全防护
技术参数:
整机尺寸
450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室
派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量
25Kg
等离子体输出
最大150w,13.56 MHz 。
真空度
>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制
最长可设置99小时59分钟
双重气流控制
双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源
230 V, 50Hz (3 amp Max)
低温灰化仪EMS1050, EMS1050
低温灰化仪EMS1050信息由海德创业(北京)生物科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于低温灰化仪EMS1050报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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