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仪器简介:
应用: ◆各种材质及薄膜应力分析。 ◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片)
技术参数:
Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。
主要特点:
◆双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择最佳匹配之激光源; ◆系统内置升温、降温模拟系统,便于量测不同温度下薄膜的应力,温度调节范围为-65℃至500℃; ◆自带常用材料的弹性系数数据库,并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库,便于新材料的研究实验; ◆形象的软件分析功能,用于不同测量记录之间的比较,且测量记录可导出成Excel等格式的文档; ◆具有薄膜应力3D绘图功能。
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