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纳米级高速大行程压电马达平移台
AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。
该平移台采用无声的超声波马达,超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动,每个循环的进给为几个纳米,高频的信号,可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到400mm/s。
理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度,因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm,采用线性编码器位置传感器闭环控制,使位移平台的位移分辨率可达到78nm,在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力,因此断电之后平移台会有自锁功能,使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量,提高了位移平台的精度。
此外,由于该平台采用模块化设计,因此该平移台可以组成多维位移平台,并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点:
l 大行程 (92mm)
l 高精度(78nm)
l 高速度(400mm/s)
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用:
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
产品参数:
AU-XLS
Minimum travel range
19 mm
Maximum travel range:
92 mm
Load capacity
< 1kg
Holding / driving force
~ 1N
Min. step size
500nm [standard encoder] / 78nm [precision encoder]
Max. speed
400mm/s
Min. speed
1mm/s
Constant speed
+/- 1% at typical scan speed
Lifespan
> 100 km (typical)
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