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产品简介:
T5500B探针台具有较高的性价比。较低的泄漏电流~50fA使得其易于测试6英寸的圆晶和破损的样品。同时具有较强的拓展性,客户可以根据自己的需求选用加热吸盘,高倍显微镜,底座和屏蔽箱等。
产品优势
•精度高
•测试稳定
•操作方便
•多种测试技术
•低泄漏电流
技术规格
样品台
尺寸
6英寸,低泄漏电流 <50fA
X-Y行程
100mm×100mm
X-Y行程精度
5μm
Z行程
10 mm
Z行程精度
1μm
显微镜行程
x-y 50mm×50mm 精度5μm
显微镜
放大倍数90倍 样品台<100μm
CCD 相机
放大倍数300倍 样品台<50μm
高倍显微镜
放大倍数1000倍 样品台<10μm
CCD相机
2.1M像素 CCD C-mount 1/3 英寸
15 英寸LCD显示器
针座平台
行程6mm 精度3μm
真空平台 行程6mm 精度3μm
探针
M5BG
M1.5BT
尺寸:0.5×25mm
尺寸:0.5×30mm
漏电精度 :<10fA
针尖直径:5μm
应用
IV测试
CV测试 可靠性测试
光电流基础测试探针台,T5500B
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