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1x12,288线阵相位型液晶调制器是光束偏转与印刷系统的理想器件。这一器件运用了基于CMOS技术的标准液晶技术。基于CMOS结构的阵列为实现最先进的高分辨率光刻技术提供了有效的工具,由于其像素更小,从而能够为光束偏转应用提供更大的偏转角度。此外,COMS芯片上的电路大大简化了寻址,随机存取转向,任意波前控制等过程。 基于CMOS阵列的另一优点是其在半导体制造中已经实现了规模经济。 当填充Zero-Twist Nematic(ZTN)液晶的时候,该器件可用作全编程的一维衍射光束偏转阵列。通过在阵列上下载变阶的相位契形图,即可实现非机械式的光束偏转,其相当于一个可编程的衍射相位光栅。液晶光束偏转器的主要优点是无机械移动(因此没有光束指向偏差与不稳定的问题),随机存取指向,通光孔径足够大,光学头轻便并具有大规模制造以实现低成本的可能。
特点
应用
高光学效率
光束偏转
无机械移动
衍射光学
安全的低电压操作
光谱调谐与处理
高速相位控制
超快脉冲整形
全用户编程
可编程相位光栅
灵活的系统配置
可编程振幅光栅
安静低振动操作
全固态器件结构
即插即用简易安装
友好的图形界面
Model P12,288 – λ (nm) – PT
Array Size
19.66x19.66mm
Design Wavelength (nominal)
635-1550nm
(Specify wavelength, λ in nm when ordering)
Diffraction Efficiency (zero-order)
80 - 95% (maximum)
Duty Cycle
Up to 100%
External Window
Broadband antireflection coated for Ravg<1% (over 450-865nm or 850-1650nm)
Fill Factor
100%
Format
1x12,288
Mode
Reflective
Steering Angle
± 4 - 7°
Modulation
Controllable index of refraction
Phase Levels (resolvable)
50 -100 linear levels (minimum) for 2π phase stroke
Phase Stroke (double-pass)
Typically 2π at user-specified laser line
Pixel Pitch
1.6 μm
Reflected Wavefront Distortion (rms)
λ/10 – λ
Response Time
5 - 30 ms
Spatial Resolution
TBD
Switching Frequency
30 – 200 Hz
1x12,288线阵相位型液晶调制器,空间光调制器
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