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纳米精度,大行程电控升降台!
所属类别:光机产品/精密定位控制系统? 电动平移台
高精度电动升降台
电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置,通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成:位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏,主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。
上海昊量光电设备有限公司推出的高精度大行程电动平移台,利用42mm的五相步进电机驱动,可实现低振动高度的运动。传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动,极高的螺杆品质使平移台拥有极佳的分辨率、定位精度。采用超高等级LM滑轨,在确保了升降台,具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制,在确保大行程的同时,分辨率达到了50nm。目前可提供给从200-400mm不同行程的平移台,速度最高可达到20mm/s,载重量高达30kg。
主要特点
l 高分辨率
l 高重复定位精度
l 采用滚珠丝杠,实现高精度定位
l 采用高等级交叉滚珠导轨,具有超高运动性能
u 主要应用
超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。
主要参数:
型号
行程(mm)
最大负载(N)
分辨率(nm)
重复定位精度(nm)
最大移动速度(mm/s)
FC-414
FC-111
FC-114
20
FS-3300X
300
294
50
100
±100
±200
FS-3400X
400
FS-2200X
200
500
±1000
FS-2300X
FS-2400X
大行程精密电控平移台,FX
大行程精密电控平移台信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于大行程精密电控平移台报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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