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2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:
小批量生产
分析 (REM, TEM)
医疗技术
灭菌
研究和开发部门
考古
纺织技术
塑料技术
系列
Zepto 200
控制系统
手动型
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积
2.6L
真空腔室
圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子(大约Φ 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)
圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子(大约Φ105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)
电极
单层或多层
样品支架
铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
压力计
Pirani
计时器
模拟式
高频电流发生器
13.56 MHz: 功率 0 - 300 W/40kHz 0-100W
真空泵
大于4m3/H
Diener 等离子表面处理仪 Zepto 200, Zepto 200
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