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德国Diener低压等离子清洗机 Tetra45 德国原装进口
特点:
· 单层处理,腔体深度接受定制,Max.1200mm
· 使用PCCE/Full PC软件,拥有更精确的工艺参数控制功能
· 铝制腔体适用于半导体封装工艺
应用:
· 各种材料表面有机物与无机物的去除
· IC/LED封装,BGA/CSP/COB基板处理
· Wafer去胶和蚀刻
· 印刷基板镀层前处理
· LED\光学\氟化材料\镜头等处理
· 塑料\橡胶\陶瓷\玻璃表面改性
技术参数:
型号
Tetra45 PCCE
Tetra45 FULL PC
控制模式
手动和自动
显示
3.5’’TFT (7’’ optional)
15’’
软件
Windows PCCE Soft
Window Full PC
真空计
PID控制,数字显示
真空计量程
0~9.99mbar
发生器*1
13.56MHz 0~600W
工艺气路
2pcs MFC/ O2、Ar、N2、He
冲洗气路
1pc
泄气气路
腔体材质
铝合金
腔体尺寸*2
W572 mm x D650 mm x H125 mm,约45L
腔体门
铝合金带观察窗
托盘:
旋转托盘 直径 Max.550mm
外形尺寸
W850 mm x D800 mm x H1700 mm
电源
3P,AC400V 16A
真空泵*3
Leybold D65C
注:
*1可以选配发生器2.45GHz 0~850W或者100kHz/0-500W
*2腔体深度接受定制,Max.1200mm
*3可以选配干式真空泵KASHIYAMA NEODRY36E
Diener 等离子表面处理仪 Tetra45, Tetra45
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