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硅片厚度测量仪SIT-200
硅片厚度测量仪(SIT-200)由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
产品特点:
l 全光学,非接触硅片厚度测试
l 高动态范围测量粗糙表面
l 湿法刻蚀过程中实时测量
高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制
结构示意图
SIT-200
产品参数:
测量目标
硅片
测量厚度
10-500μm
光源
1515-1585nm扫描
功率
0.6mw,Class1
指示光源
红光,Class1M
测量时间
20ms
重复性
0.1μm
输出监控
干扰信号(电学)
PC接口
网口
供电
100-240V,50/60Hz
尺寸
364 x 147 x 391mm
重量
9kg
硅片厚度测量仪SIT-200, SIT-200
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