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单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪,精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数
型 号
IXION-193 SLM
波 长
193.368 nm
平均功率
>10 mW
脉 宽
< 10 ns
脉冲能量
>1.6 μJ
重复频率
6 kHz
M2 因子
< 1.6
线 宽
<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1
调谐范围
>80GHz; 10pm;2.6cm-1
相干长度
>1 m
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点· 工业级的频率转换,密封封装 · 插槽安装激光二极管泵浦· 优异的TEM00光束形貌· 脉冲到脉冲之间波动小· 免维护与热电温控管理· LabVIEW驱动· 内置光谱仪用于波长实时控制单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用 · 193 nm波长计量 · 光谱仪校准 · 干涉测量· 准分子激光器的种子注入脉冲宽度光谱带宽
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193, IXION-193?SLM
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深紫外单纵模固体激光器Ixion193
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