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MPCS-100涡轮分子泵组可为物理吸附仪、化学吸附仪等多类仪器提供1×10-9Pa的极限真空度,无需单独配置分子泵控制器,并加入先进的真空监测与泵组工作调节装置
产品优势
1.无需单独购置控制器
2.涡轮分子泵的出入口压力值可监测
3.拥有前后级工作调节装置,避免前级泵反油对涡轮分子泵的影响
4.泵组的工作全部智能控制,无需人员介入
5.先进的法兰连接结构,有效提高入口气密性
仪器应用先进技术
1.先进的智能控制系统
采用彼奥德研发团队提供的MPCS控制系统,通过对各关键点的压力及工作状态监控,有效的对泵组各部分工作状态进行调节和控制,并有效提高
2.应用先进的法兰结构
采用彼奥德研发团队提供的NF式法兰连接结构,有效提高气密性降低高真空下的漏率。
3.前级泵与涡轮分子泵配置调节装置
技术参数
1.极限真空:1×10-9Pa
2.前级泵抽速:采用I-PID技术可调
3.供电系统:与MPSC控制系统集成
4.控制系统:采用MPSC控制系统,可智能控制并有效协调前后级工作状态
硬件系统:
1.前级泵采用德国莱宝双极旋片真空泵
2.分子泵采用德国莱宝涡轮分子泵
3.配置高精度德国莱宝压力传感器
4.配置独有NF法兰接口
5.配置MPSC控制主板
分子泵组,MPCS-100
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