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简介
1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远超同行业标准。
主要技术参数
炉体结构
整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温度
炉盖可开启,可以实时观察加热的物料
电源
电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW
炉管
高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;
尺寸:Φ60/80/100*1200mm
法兰及支撑
SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空
一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合
加热系统
加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用;
加热区长度:350mm*2;
恒温区长度:450mm;
工作温度:≤1150℃;
最高温度:1200℃;
升温速率:推荐≤10℃/min;
最快升温速度30℃/min.
温控系统
日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段;
测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃
混气系统
三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%
法兰上预留一路浮子流量计,流量规格0.3-3L/min
真空系统
采用双极旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa
复合真空计显示,配置电阻规+电离规
抽速:110L/s,风冷式散热结构
配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀
可选配件
冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等
保修期
整机一年保修(相关耗材除外)
可根据客户要求定制!
特色与优势
1.加长双温区炉体,大大加长了实验区域的温度均匀性;
2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;
3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;
4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa;
5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统,可满足不同气氛下的实验要求;
6.内置S型热电偶,可快速、实时监测反应物料的温度变化情况;
7.尾气活性炭过滤处理,减少反应气体排放对实验室环境的影响。
1200加长双温区CVD系统,YHGS-I
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