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简介
1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
主要技术参数
炉体结构
整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好;
炉子底部装有一对滑轨,移动平稳;
炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却;
支撑两端安装油压缓冲器;
炉盖可开启,可以实时观察加热的物料
尺寸重量
1240*600*1340mm;170kg
电源
电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW
炉管
高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;
尺寸:Φ60/80/100*1200mm
法兰及支撑
SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空;
一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷;
可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑;
包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合。
加热系统
加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用; 加热区长度:300mm;恒温区长度:150mm; 工作温度:≤1150℃; 最高温度:1200℃;
升温速率:推荐≤10℃/min,最快升温速度30℃/min
温控系统
日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃
混气系统
三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%
真空系统
采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa
可选配件
高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件
保修期
整机一年保修(相关耗材除外)
可根据客户要求定制!
特色与优势
1.滑动式炉体结构实现快速升降温;
2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;
3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;
4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa。
1200低真空CVD系统,YHGS-120612I-3ZD
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