您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
产品介绍
YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在镍或铜箔上制备石墨烯的制备,稍加调整,一机多用,被广泛的应用各研究院所。
加热系统采用环形红外短波加热器,最快升温速率可达300℃/S,测温采用精准的S型贵金属热电偶直接测量式样表面,使加热工件(式样)的温区更加均匀准确,控制界面采用大尺寸触摸屏,傻瓜智能式操作,可预设置十条温度曲线。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃,经过长期多次的各种试样试验验证,已被应用于半导体器件研发及生产等领域,广泛满足离子注入后的快速退火,欧姆接触快速合金,硅化物合金退火,氧化物生长,铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其它快速热处理工艺的要求。
技术参数
产品型号
YRTP-1100
炉体结构
双层壳体结构,高精度移动平台
额定温度(℃)
1100
使用温度(℃)
≤1000
温场均匀性(℃)
±3℃
温度状态工艺时间(S)
2~100(100~1000℃)
最快升温速(℃/S)
200
降温速率(℃/S)
1~200(通氮气,速率更快)
温度控制模式
智能模糊全闭环PID控制
操作方式
触摸屏控制
超高温状态检测
软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路
触摸屏尺寸
7"LED
最大功率(kW)
15
额定电压
AC380~400V,50HZ(60Hz定制)
传感器类型
S型单铂铑
反应腔室内径尺寸
Φ100X200
式样有效空间
4"
真空系统
选配
预留真空抽口
KF16
进出气接口
Φ6卡套
尺寸重量
长1000×深600×高600mm;净重:约50kg
可根据客户要求定制!
YRTP快速退火炉,YRTP-1100
YRTP快速退火炉信息由上海煜志科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于YRTP快速退火炉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
群组论坛--样品前处理
您可能要找:煜志马弗炉YRTP快速退火炉价格YRTP-1100马弗炉参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号