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德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍
过程质谱仪 Versa PS 2000 是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的。它也可用于其他光学测试,例如:涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测量
PS 2000的特点
·快速精准测量 (测量时间低至10 μs)
·快速读取
·多种数据接口
·由外部位置传感器读出
·性能稳定可靠
Versa PS2000的固件能够预处理测量数据,所以我们的过程光谱仪能够处理计算进程数据,例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源(卤素灯或者疝气闪光灯)
应用 数据
·在线光谱测试 ·USB (high or full speed)
·真空沉积的过程控制 ·LAN
·薄膜厚度测试 ·RS 232/ 422/ 485
·仪器仪表分析
·多通道光谱分析系统
产品描述
·存储的参考参数
·数据预处理, 暗信号矫正, 绝对校准
·内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数
·基于DLL的SDK和SCPI(仪器标准指令)可兼容的控制语法
·软件和硬件的触发
规格参数
200 nm ... 1000 nm
flat field holographic grating, aberration correction
mirror
≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit)
≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit)
≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit)
≥ 0.7
200 mm 光纤带F-SMA 905接头
≤ 0.2 nm (HgAr 线性光)
≤0.02 nm (HgAr 线性光)
< 0.2 % (ASTM E387, GG495,
波长 = 420 nm/ 600 nm)
取决于探头类型
16 bit
2 counts RMS
up to 4 MS/ s
up to 40 Mb/ s (via High Speed USB)
0.01 ... 65535 ms
10 μs
≤2 μs
USB
Ethernet or RS 422/485
RS 232
110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used)
25 cm x 25 cm x 15 cm
3 kg
其他配件可依客户需求订配
德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000,Versa PS 2000
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