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高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。主要特点• 高分辨率(250 x 250)• 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm)• 覆盖UV光谱• 高灵敏度(0,5 nm)• 优化信噪比• 适用于光学测量参数
孔径
8.0 x 8.0 mm²
空间分辨率
32?um
采样点
250 x 250
波长
190 - 400 nm
精度 (绝对模式)
10 nm
灵敏度
0.5 nm
动态范围
> 200?um
曲率半径
10 mm到+∞?
曲率半径灵敏度
< 5.10 m
分割频率
1 fps
采样频率
30 fps
尺寸(l x H x L)
95 x 105 x 84 mm
重量
900 g
高分辨率紫外波前传感器,SID4 UV-HR
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