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可见光波前传感器
PHASICS介绍其近红外高分辨率波前传感器(从1.5 μm到1.6 μm)。在激光光束测量方面,SID4 NIR提供一个详尽的光束检测法(像差,M²,强度分布,光束参数等)。在光学测量方面,SID4 NIR是检测红外物镜或红外透镜出MTF,PSF,焦距和分析表面质量的最好工具。
主要特点● 高分辨率(160 x 120)● 相位图解释模块● 强度截面检测● 绝对测量● 测量速度快● 对振动不敏感● 成本效益
参数
孔径
3.6 x 4.8 mm²
空间分辨率
29.6 μm
采样点
160 x 120
波长范围
1.5 μm – 1.6 μm
精度
15 nm RMS
敏感度
11 nm RMS
动态范围
> 100 μm
分割频率
> 10 fps
采样频率
60 fps
尺寸(l x H x L)
44 x 33 x 57.5 mm
重量
250 g
可见光波前传感器, SID4 NIR
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