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紧凑型波前传感器
SID4波前传感器是一款结构紧凑的设备,它结合并实现了经典干涉法的优势(灵敏度、高分辨率和动态范围测量法)。SID4的优势源自四波横向剪切干涉技术*(基于优化的哈特曼掩膜干涉光学),它是ONERA为了计量需求研发的一种革新技术。
主要特点• 高横面分辨率(160x120)• 消色差• 接收大光谱• 强度截面测量(光束图)• 结构紧凑易于使用(电脑控制,即插即用)• 多用户,多设备接口• 易于安装,使用软件简易• 多种采样方式(即时,触发,软件采样等)软件特点相位图解释模块• 倾斜• 分散• Zernike多项式• Legendre多项式射束分割• 同时提供相位图和强度图• 计算M²• 斯太尔率• 远场分析符光束图模块窗口符合人体工程学原理• 软件直观• 多用户界面• 自动分析调整光束图 (可选配)• 完整射束分割• 强度分布• 高斯拟合参数
孔径
3.6 x 4.8 mm²
空间分辨率
29.6?um
相位和强度采样点
160 x 120 (> 19000点)
波长
350 - 1100 nm
精度(绝对/相关模式)
10 nm RMS / 3 nm RMS
灵敏度
3 nm RMS
动态范围
> 100?um
曲率半径
20 mm (可选5mm)
曲率重复性
5. 10 m
数值孔径
0.1NA f/5 (可选0.3 NA f/1.6)
分割率 (全分辨率)
> 10 fps
采样频率
60 fps
尺寸(l x H x L)
49 x 35 x 110 mm
重量
250 g
紧凑型波前传感器,SID4
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高灵敏度等离子体分析仪 光学仪器组件
定量位相成像SID4 Element
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